[发明专利]声波装置、发射设备和声波装置制作方法无效
申请号: | 200910160971.1 | 申请日: | 2009-07-31 |
公开(公告)号: | CN101640521A | 公开(公告)日: | 2010-02-03 |
发明(设计)人: | 松田聪;三浦道雄;松田隆志 | 申请(专利权)人: | 富士通株式会社 |
主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25;H03H9/64;H03H3/10 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 赵 飞;南 霆 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供了一种声波装置、发射设备和声波装置制作方法。一种第一声波装置包括第二声波装置。该第二声波装置包括由压电材料制成的衬底、形成在衬底上的一对交叉指型电极以及调整介质,其中每个交叉指型电极包括多个电极指。该调整介质至少包括第一单层并且形成在这一对交叉指型电极的至少一部分上。调整介质包括厚部分以及厚度为零或者比厚部分更薄的薄部分,厚部分的面积与根据预定特性值所确定的区域相对,该面积包括交叉指型电极以及相邻的电极指之间的多个面积。 | ||
搜索关键词: | 声波 装置 发射 设备 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种第一声波装置,包括:第二声波装置,包括:由压电材料制成的衬底,形成在所述衬底上的一对交叉指型电极,每个所述交叉指型电极包括多个电极指,以及调整介质,所述调整介质包括至少一个单层并且形成在该对所述交叉指型电极的至少一部分上,所述调整介质包括厚部分以及厚度为零或者比所述厚部分更薄的薄部分,所述厚部分的面积与根据预定特性值所确定的区域相对,所述面积包括所述交叉指型电极以及相邻的所述电极指之间的多个空间。
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