[发明专利]感光耐蚀膜供应装置及感光耐蚀膜供应方法无效
| 申请号： | 200910161988.9 | 申请日： | 2009-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN101673055A | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 金东浩;黄修敏 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G01N7/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 申 健 |
| 地址： | 韩国忠清南道天*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供的是一种感光耐蚀膜供应装置。该感光耐蚀膜供应装置包括排放喷嘴、计量泵、捕集箱、瓶和第一排放管线。该排放喷嘴排放感光耐蚀膜到胶片上。该计量泵供应固定量的感光耐蚀膜到该排放喷嘴内。该捕集箱临时存储将被从该计量泵供应到该排放喷嘴内的感光耐蚀膜。该瓶容纳存储在该捕集箱内的感光耐蚀膜。气泡检测单元确定在将被从该泵供应到该排放喷嘴内的待处理的感光耐蚀膜中是否存在气泡。该第一排放管线将该泵连接到废弃流体箱以用于当气泡检测单元检测到气泡时从该泵排放该待处理的感光耐蚀膜到该废弃流体箱。 | ||
| 搜索关键词： | 感光 耐蚀膜 供应 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种感光耐蚀膜供应装置，包括：容纳感光耐蚀膜的瓶；从该瓶接收该感光耐蚀膜并用来存储所接收到的感光耐蚀膜的捕集箱；以及从该捕集箱接收该感光耐蚀膜并用来供应固定量的感光耐蚀膜到排放喷嘴以排放该感光耐蚀膜到胶片上的泵。
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