[发明专利]驱动装置及固晶机有效

专利信息
申请号: 200910163324.6 申请日: 2009-08-13
公开(公告)号: CN101996915A 公开(公告)日: 2011-03-30
发明(设计)人: 卢彦豪;古乃铭 申请(专利权)人: 威控自动化机械股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/68;H01L21/50;H01L33/00
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 王青芝;郭鸿禧
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开一种驱动装置及固晶机。所述驱动装置包含驱动装置本体、第一驱动模块、第二驱动模块以及驱动负载板。驱动负载板设置于驱动装置本体的一侧,而第一驱动模块与第二驱动模块装设于驱动装置本体上,且第一驱动模块与第二驱动模块分别带动驱动负载板以产生第一位移与第二位移推动力。其中,第一位移的位移速度大于第二位移,且第二位移的位移精度大于第一位移。由两种驱动源共同驱动负载来产生单一方向的位移,因此可提升驱动装置的移动速度及移动精度。
搜索关键词: 驱动 装置 固晶机
【主权项】:
一种驱动装置,用来达成快速及准确的对象移动,该驱动装置包含:驱动装置本体;驱动负载板,该驱动负载板设置于该驱动装置本体的一侧;第一驱动模块,该第一驱动模块装设于该驱动装置本体上,且带动该驱动负载板产生第一位移;以及第二驱动模块,该第二驱动模块装设于该驱动装置本体上,且带动该驱动负载板产生第二位移;其中,该第一位移的位移速度大于该第二位移,且第二位移的位移精度大于第一位移。
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