[发明专利]浮起运送装置以及浮起单元有效
| 申请号： | 200910164107.9 | 申请日： | 2009-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN101643152A | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 平田贤辅;和田芳幸;田中刈入 | 申请（专利权）人： | 株式会社IHI |
| 主分类号： | B65G51/02 | 分类号： | B65G51/02;B65G51/03;B65G13/00;B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种浮起运送装置(1)，在充分确保浮起性能的同时运送大型化的基板(W)的情况下，能够高效地确保基板(W)的平坦度，能够避免基板(W)的端部和浮起单元(37)等之间的干涉。在浮起运送装置(1)中，将基板W向运送方向运送的运送单元(11)设置在支承框(3)上，并且多个浮起单元(37)沿着运送方向以及运送宽度方向设置在支承框(3)上。各浮起单元(37)具有：在上表面形成有喷出空气的喷嘴(41)的浮起单元主体(39)；设置在浮起单元主体(39)的下表面中央的、内部与浮起单元主体的内部连通的浮起单元脚(43)。在此，浮起单元脚的运送方向的最大外形尺寸比浮起单元主体的运送方向的最大外形尺寸小。 | ||
| 搜索关键词： | 浮起 运送 装置 以及 单元 | ||
【主权项】：
1.一种浮起运送装置，在使基板浮起的状态下向运送方向进行运送，其特征在于，具有：支承框；运送单元，其设置在所述支承框上，并将基板向运送方向运送；多个浮起单元，沿着所述运送方向以及与所述运送方向正交的运送宽度方向设置在所述支承框上，并利用气体的压力使基板浮起，所述浮起单元分别具有：在上表面形成有喷出气体的喷嘴的浮起单元主体；设置在该浮起单元主体的下表面且内部与所述浮起单元主体的内部连通的浮起单元脚，所述浮起单元脚的所述运送方向的最大外形尺寸比所述浮起单元主体的所述运送方向的最大外形尺寸小，各浮起单元脚与供给气体的气体供给源连通。
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