[发明专利]半导体产品级别控制的方法与系统有效
| 申请号： | 200910167455.1 | 申请日： | 2009-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN101872173A | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | 巫尚霖;施志昇;曾衍迪;王若飞;牟忠一;关欣 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 姜燕;陈晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种半导体产品级别控制的方法，应用于制造集成电路元件，其中，产品级别与集成电路所呈现一种或多种特性有关，半导体产品级别控制的方法包括：对多个晶片批次，执行多个工艺；决定所需产品级别数量、现有产品级别数量与生产中产品级别数量；将已决定的所需产品级别数量，与已决定的现有产品级别数量以及已决定的预估生产中产品级别数量作比较；以及若已决定的现有产品级别数量与已决定的预估生产中产品级别数量无法满足已决定的所需产品级别数量，则修正晶片批次的工艺中的至少一者。本发明的方法能有效控制产品级别的数量并能动态地迎合客户的产品级别需求。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 产品 级别 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种半导体产品级别控制的方法，应用于制造集成电路元件，其中一产品级别与一集成电路所呈现的一种或多种特性有关，上述方法包括：对多个晶片批次，执行多个工艺；决定一所需产品级别数量、一现有产品级别数量与一生产中产品级别数量；将已决定的上述所需产品级别数量，与已决定的上述现有产品级别数量以及已决定的上述预估生产中产品级别数量作比较；以及若已决定的上述现有产品级别数量与已决定的上述预估生产中产品级别数量无法满足已决定的上述所需产品级别数量，则修正上述晶片批次的上述工艺中的至少一者。
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