[发明专利]制造半导体模块的方法有效
申请号: | 200910168033.6 | 申请日: | 2007-12-27 |
公开(公告)号: | CN101635264A | 公开(公告)日: | 2010-01-27 |
发明(设计)人: | 都筑幸司;铃木隆典 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/48;H01L21/56 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 屠长存 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种制造半导体模块的方法,该半导体模块包括用封装树脂密封的半导体芯片,其中通过在阻焊剂图案的外边缘的外部从布线图案开始沿着阻焊剂图案的外边缘延伸的布线图案延伸部分,防止封装树脂从该外边缘的内部溢出。该方法包括:制备半导体芯片;制备具有连接部分、连接到连接部分的布线图案和阻焊剂的基板,其中布线图案的布线图案延伸部分延伸以与布线图案的一部分交叉,布线图案具有连接部分一侧的第一边缘和与连接部分一侧相反一侧的第二边缘,阻焊剂设置在连接部分的周边以覆盖布线图案,使得阻焊剂的外边缘在第二边缘一侧沿着布线图案延伸部分设置;在基板的阻焊剂的内部部分上安装半导体芯片;施加封装树脂以覆盖半导体芯片。 | ||
搜索关键词: | 制造 半导体 模块 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制造半导体模块的方法,包括以下步骤:制备半导体芯片;制备具有连接部分、连接到所述连接部分的布线图案和阻焊剂的基板,其中所述布线图案具有布线图案延伸部分,所述布线图案延伸部分延伸以与所述布线图案的一部分交叉,所述布线图案延伸部分具有所述连接部分一侧的第一边缘和与所述连接部分一侧相反一侧的第二边缘,所述阻焊剂设置在连接部分的周边以覆盖所述布线图案,使得阻焊剂的外边缘在所述第二边缘一侧沿着所述布线图案延伸部分设置;在所述基板的被阻焊剂围绕的部分上安装半导体芯片;以及施加封装树脂以覆盖所述半导体芯片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造