[发明专利]用于承载盘内的芯片的检测系统及其检测方法有效
申请号: | 200910169528.0 | 申请日: | 2009-09-09 |
公开(公告)号: | CN101672800A | 公开(公告)日: | 2010-03-17 |
发明(设计)人: | 蔡政道;游兆胜 | 申请(专利权)人: | 政美仪器有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01;G01N21/13 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 冯志云 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种用于承载盘内的芯片的检测系统及其检测方法,该检测系统包含一卸载臂装置、一第一支持平台及多个第一承载盘处理装置。第一支持平台构造为在该卸载臂装置旁、沿一第一方向上移动。多个第一承载盘处理装置沿该第一方向排列在该第一支持平台。各第一承载盘处理装置容纳不同大小的承载盘,其中该第一支持平台用于移动该多个第一承载盘处理装置中的一个至该卸载臂装置之位置前。 | ||
搜索关键词: | 用于 承载 芯片 检测 系统 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于承载盘内的芯片的检测系统,包含:一卸载臂装置;一第一支持平台,构造为在该卸载臂装置旁沿一第一方向上移动;以及多个第一承载盘处理装置,其沿该第一方向排列在该第一支持平台,各第一承载盘处理装置容纳不同大小的承载盘,其中该第一支持平台用于移动该多个第一承载盘处理装置中的一个至该卸载臂装置的位置前。
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