[发明专利]基板载置机构、基板处理装置和基板载置机构的控制方法有效
| 申请号： | 200910171076.X | 申请日： | 2009-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN101667520A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 三枝直也;志村昭彦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供基板载置机构、基板处理装置和基板载置机构的控制方法。该基板载置机构能够可靠地支承被处理基板，且能够对被处理基板进行均匀的处理。该基板载置机构包括：在载置台(4)的内侧自由突出没入地被设置、支承被处理基板(G)的外周边缘部的第一升降器(8a)；和在载置台(4)的外侧能够向载置台(4)的载置面的上方移动地被设置，支承比第一升降器(8a)支承被处理基板(G)的位置更靠被处理基板(G)的中央的部分的第二升降器(8b(8b1))，在使被处理基板(G)的背面部分地抵接在载置面上的状态下，在第一升降器(8a)与第二升降器(8b(8b1))间进行被处理基板(G)的交接。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载置 机构 处理 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板载置机构，其特征在于，包括：载置被处理基板的载置台；在所述载置台的内侧能够自由突出没入地被设置、且支承所述被处理基板的外周边缘部的第一升降器；和在所述载置台的外侧能够向所述载置台的载置面的上方移动地被设置，且支承比所述第一升降器支承所述被处理基板的位置更靠所述被处理基板的中央的部分的第二升降器，在使所述被处理基板的背面部分地抵接在所述载置面上的状态下，在所述第一升降器与所述第二升降器间进行所述被处理基板的交接。
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