[发明专利]检查治具、电极构造及电极构造的制造方法

摘要

本发明提供一种检查治具、电极构造及电极构造的制造方法，利用包含如筒状接触件及棒状接触件的构造的接触件(同轴接触件)时，适当地利用于此种接触件，并达到电极部的结构的细微化及简易化。探针(1)包含：第1接触件(2)，以导电材料形成大致筒形形状；及第2接触件(3)，以导电材料形成细长状，并以与第1接触件(2)绝缘状态插入第1接触件(2)内。接触导通于该第1及第2接触件(2、3)的第1电极部(22)与第2电极部(23)从俯视观察，以第1电极部(22)的中心与第2电极部(23)的中心分离的方式配置。俯视观察的第1电极部(22)的最大宽度设定为小于第1接触件(2)的外径。

主权项

一种检查治具，其特征在于，包括：多个探针，其一端导通接触于待检查基板的检查对象的检查点，另一端导通接触在电连接于用以检查电特性的检查装置的电极部；保持体，其将上述探针的两端分别引导至既定的上述检查点及上述电极部，并保持该探针；及电极体，其包含多个上述电极部，上述探针具有：第1接触件，其以导电材料形成筒形形状；及第2接触件，其以导电材料形成细长状，并以与上述第1接触件绝缘的状态收纳于上述第1接触件的内部空间，上述电极部具有：第1电极部，其用以与上述第1接触件导通接触；及第2电极部，其与上述第1电极部不电性接触，而与上述第2接触件导通接触，上述第1电极部与该第2电极部从俯视观察，配置为上述第1电极部的中心与上述第2电极部的中心分离，且俯视观察的上述第1电极部的最大宽度小于上述第1接触件的外径。