[发明专利]涂胶显影机热处理单元有效
| 申请号： | 200910189509.4 | 申请日： | 2009-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102073214A | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 张贤识;王利;赵军锋 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/00;G05D23/20;G05D23/24 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种涂胶显影机热处理单元，包括两块以上分热板，每块分热板上设有至少一个温度传感器，所述两块以上分热板组合成一块圆形热板。多块独立的分热板分别设计、互不影响组成一块大的圆形热板，温度控制更精确，并且每块分热板上面有至少一个温度传感器，保证温度监控更准确，一旦问题发生能及时报警，同时维修更容易，只需要更换相应的坏损的分热板而不需去更换整块大热板，从而成本低、操作简单，节省时间。 | ||
| 搜索关键词： | 涂胶 显影 热处理 单元 | ||
【主权项】：
一种涂胶显影机热处理单元，其特征在于，包括两块以上分热板以及与分热板连接的电路系统，每块分热板上设有至少一个温度传感器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司，未经无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910189509.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：光刻胶的去除方法
- 下一篇：立体显示设备及其显示方法
