[发明专利]基片运载装置在审
| 申请号： | 200910192036.3 | 申请日： | 2009-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN101670942A | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 杨明生;刘惠森;范继良;叶宗锋;王曼媛;王勇 | 申请（专利权）人： | 东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/00 | 分类号： | B65G49/00;B65G49/06;B65G35/06;H01L21/677;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523018广东省东莞市南城区宏*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基片运载装置，适用于安装在真空腔体内对基片进行传送，所述基片运载装置包括底座、传动组件、驱动电机及基片座，所述基片座上开设有承载基片的凹槽，所述底座的两侧平行地设有轨道，所述基片座枢接有第一滚轮，所述第一滚轮与所述轨道接触，所述传动组件包括齿条及若干齿轮，所述齿轮的中心处向外延伸出齿轮传动轴，所述齿轮传动轴枢接地穿过所述底座，且至少一个所述齿轮的齿轮传动轴连接有所述驱动电机，所述齿条与所述基片座固定连接且与所述齿轮啮合，所述驱动电机驱动所述齿轮，所述齿轮带动所述基片座沿所述轨道滑动。本发明基片运载装置尤其适用于真空环境的基片传送，传送过程安全、定位精确。 | ||
| 搜索关键词： | 运载 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基片运载装置，适用于安装在真空腔体内对基片进行传送，所述基片运载装置包括底座、传动组件和驱动电机，其特征在于：还包括基片座，所述基片座上开设有承载基片的凹槽，所述底座的两侧平行地设有轨道，所述基片座枢接有第一滚轮，所述第一滚轮与所述轨道接触，所述传动组件包括齿条及若干齿轮，所述齿轮的中心处向外延伸出齿轮传动轴，所述齿轮传动轴枢接地穿过所述底座，且至少一个所述齿轮的齿轮传动轴连接有所述驱动电机，所述齿条与所述基片座固定连接且与所述齿轮啮合，所述驱动电机驱动所述齿轮，所述齿轮带动所述基片座沿所述轨道滑动。
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