[发明专利]度量衡校准晶圆有效
| 申请号： | 200910194947.X | 申请日： | 2009-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN102005436A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 吴瑞国;周欣洁;郝斐;苏国英 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 牛峥;王丽琴 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种度量衡校准晶圆，包括晶圆本体，所述晶圆本体上排列有若干校准单元，每个校准单元具有一矩形区域、以及分布于该矩形区域四角处并用于定位该矩形区域的定位区域；每个矩形区域内，具有平行于其设定方向的两个相邻第一校准槽，两个相邻第一校准槽的深度和宽度均相同，所述深度用以在台阶高度的测量场景下进行测量校准；两个相邻第一校准槽之间的间距以及任一第一校准槽的宽度，用以在关键尺寸的测量场景下进行测量校准；所述设定方向为该矩形区域的长边方向或宽边方向。本发明的度量衡校准晶圆，实现了利用单片晶圆对多种测量场景下的多个尺寸进行测量校准，大大提高了校准晶圆使用的便利程度，降低了校准晶圆的使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 度量衡 校准 | ||
【主权项】：
一种度量衡校准晶圆，包括晶圆本体，其特征在于：所述晶圆本体上排列有若干校准单元，每个校准单元具有一矩形区域、以及分布于该矩形区域四角处并用于定位该矩形区域的定位区域；每个矩形区域内，具有平行于其设定方向的两个相邻第一校准槽，两个相邻第一校准槽的深度和宽度均相同，所述深度用以在台阶高度的测量场景下进行测量校准；两个相邻第一校准槽之间的间距以及任一第一校准槽的宽度，用以在关键尺寸的测量场景下进行测量校准；所述设定方向为该矩形区域的长边方向或宽边方向。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910194947.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
