[发明专利]用于在线缺陷扫描的动态统计采样控制方法和装置有效
| 申请号： | 200910194950.1 | 申请日： | 2009-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN102004451A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 黄辉 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 牛峥;王丽琴 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于在线缺陷扫描的动态统计采样控制方法。该方法包括：开始计量参数；判断计量的参数是否达到预先设置的监控间隔；和如果计量的参数达到预先设置的监控间隔，则确定对工艺步骤处理后的晶圆进行在线缺陷扫描；否则确定对所述工艺步骤处理后的晶圆进行下一工艺步骤处理。本发明还公开了一种用于在线缺陷扫描的动态统计采样控制装置。使用本发明的方法和装置可以避免一段时间内采样监测晶圆数量不均衡的问题，增强对生产线的缺陷监控，并避免生产过程的加长和成本的增加。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 在线 缺陷 扫描 动态 统计 采样 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于在线缺陷扫描的动态统计采样控制方法，包括：开始计量参数；判断计量的参数是否达到预先设置的监控间隔；如果计量的参数达到预先设置的监控间隔，则确定对工艺步骤处理后的晶圆进行在线缺陷扫描；否则确定对所述工艺步骤处理后的晶圆进行下一工艺步骤处理。
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