[发明专利]用于对半导体制造工艺线中的机台采样率进行控制的方法有效
| 申请号： | 200910196264.8 | 申请日： | 2009-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN102023620A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 黄辉 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G05B21/02 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;顾珊 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于对半导体制造工艺线中的机台采样率进行控制的方法，所述方法包括以下步骤：a.定义关键机台列表；b.扫描工艺线中的一个或多个机台，提取机台的信息；c.判断在步骤b中扫描的机台是否在关键机台列表中，且满足检测条件；d.对位于关键机台列表中且满足检测条件的机台定义报警消息，所述报警消息包含机台的目标采样率；e.根据所述报警消息将所述机台的原采样率改变为所述目标采样率。f.在目标采样率有效期之后，机台的目标采样率会自动恢复到原采样率。根据本发明的方法能够对半导体生产工艺线的机台采样率进行控制和调节，从而对机台的工作状况进行有效检测，提高了良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 对半 导体 制造 工艺 中的 机台 采样率 进行 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种用于对半导体制造工艺线中的机台采样率进行控制的方法，所述方法包括以下步骤：a.定义关键机台列表；b.扫描工艺线中的一个或多个机台，提取机台的信息；c.判断在步骤b中扫描的机台是否在关键机台列表中，且满足检测条件；d.对位于关键机台列表中且满足检测条件的机台定义报警消息，所述报警消息包含机台的目标采样率；e.根据所述报警消息将所述机台的原采样率改变为所述目标采样率。
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