[发明专利]老化测试系统有效
申请号: | 200910196931.2 | 申请日: | 2009-10-09 |
公开(公告)号: | CN102043100A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | 张荣哲;简维廷;江顺旺 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R1/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李丽 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种老化测试系统,包括老化板和老化测试装置,所述老化板包括:第一接口件,适于与所述老化测试装置相连接,实现与所述老化测试装置之间信号的输入和/或输出;第二接口件,适于与待测器件相连接,实现与所述待测器件之间信号的输入和/或输出;其中,所述老化测试系统还包括:引脚匹配单元,与所述老化板活动连接,适于根据所述待测器件的引脚定义,调整所述第一接口件与第二接口件中信号的对应连接关系。本发明能够实现采用同一块老化板对具有相同引脚数量、但不同引脚定义的不同待测器件进行老化测试,与现有老化板相兼容,提高了生产效率,并节约了成本。 | ||
搜索关键词: | 老化 测试 系统 | ||
【主权项】:
一种老化测试系统,包括老化板和老化测试装置,所述老化板包括:第一接口件,适于与所述老化测试装置相连接,实现与所述老化测试装置之间信号的输入和/或输出;第二接口件,适于与待测器件相连接,实现与所述待测器件之间信号的输入和/或输出;其特征在于,所述老化测试系统还包括:引脚匹配单元,与所述老化板活动连接,适于根据所述待测器件的引脚定义,调整所述第一接口件与第二接口件中信号的对应连接关系。
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