[发明专利]均压腔气浮止推轴承有效
| 申请号： | 200910200941.9 | 申请日： | 2009-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN102109011A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 王茜;袁志扬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气浮轴承，尤其涉及一种均压腔气浮止推轴承。这种均压腔气浮止推轴承，包括至少一个气浮滑块，每个气浮滑块的支撑面上至少开设有一个棱锥均压腔，所述支撑面与基座相对，所述棱锥均压腔的锥底面与所述支撑面齐平，所述棱锥均压腔的顶点处设有一节流孔，所述节流孔与设于所述气浮滑块内部的供气管路相通，所述供气管路与外部加压气源相通。本发明采用了渐扩的棱锥均压腔腔形，使高压气体经节流孔流入轴承间隙过程中更易沿平行流线流出，从而抑制节流孔附近涡流引发的轴承振动现象，降低微振动对整个运动系统的静态和动态性能的危害。 | ||
| 搜索关键词： | 均压腔气浮止推 轴承 | ||
【主权项】：
一种均压腔气浮止推轴承，其特征在于，包括至少一个气浮滑块，每个气浮滑块的支撑面上至少开设有一个棱锥均压腔，所述支撑面与基座相对，所述棱锥均压腔的锥底面与所述支撑面齐平，所述棱锥均压腔的顶点处设有节流孔，所述节流孔与设于所述气浮滑块内部的供气管路相通，所述供气管路与外部加压气源相通。
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