[发明专利]显示用面板曝光装置和曝光方法及显示用面板曝光装置的组装或调整方法无效
| 申请号： | 200910204607.0 | 申请日： | 2009-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101713931A | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 牧信行;渡部成夫;松山胜章 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种曝光装置和液晶曝光方法，所述曝光装置能够加强加工和输送容易的分割状态的台架在组装中的连接强度，且该曝光装置容易组装，或者即使组装后也能够容易地调整从分割状态组装后的部位。设有中空的连接工作台，该连接工作台连接构成台架的多个工作台并具有四棱柱结构，在连接面上设置突起部并插入对方侧的工作台，并且从工作台的上表面操作所述突起部的位置。另外，调节设置在所述连接面上的空气储存室中的空气量。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 面板 曝光 装置 方法 组装 调整 | ||
【主权项】：
一种显示用面板曝光装置，具有搬送基板的多个工作台，在搬送后的曝光位置将掩模板的图案烧结在所述基板表面，其特征在于，所述多个工作台中至少一个工作台是连接工作台，该连接工作台具有多棱柱的结构，至少其一部分是中空，并且该连接工作台具有与另外两个工作台接触的连接面。
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