[发明专利]一种工作台倾角调整结构无效
| 申请号： | 200910206225.1 | 申请日： | 2009-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN101692420A | 公开（公告）日： | 2010-04-07 |
| 发明（设计）人： | 蔡英;朱祥龙;顾荣军 | 申请（专利权）人： | 无锡机床股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;B23Q1/74 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾吉云 |
| 地址： | 214061 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明为一种工作台倾角调整结构。其调整简单、方便，且调整的分辨率高。其包括工作台、吸盘、床身、三个支脚，所述吸盘紧固于所述工作台上端面，所述工作台通过均布于其工作台法兰圆周的所述三个支脚连接所述床身，其特征在于：所述三个支脚中其中一个为可调支脚、其余两个为固定支脚，所述可调支脚的螺母座下部螺纹连接有传动螺杆，所述传动螺杆连接有外部驱动装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工作台 倾角 调整 结构 | ||
【主权项】：
一种工作台倾角调整结构，其包括工作台、吸盘、床身、三个支脚，所述吸盘紧固于所述工作台上端面，所述工作台通过均布于其工作台法兰圆周的所述三个支脚连接所述床身，其特征在于：所述三个支脚中其中一个为可调支脚、其余两个为固定支脚，所述可调支脚的螺母座下部螺纹连接有传动螺杆，所述传动螺杆连接有外部驱动装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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