[发明专利]检查用探针无效
| 申请号： | 200910206470.2 | 申请日： | 2009-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101738510A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 戎田理夫;加藤穰;广部幸祐 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 雒运朴;李伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于制造各种各样的形状的检查用探针，提高量产性，降低价格，并且容易地达成检查用探针的直线度。在导电性的板状部件的表面上形成第一抗蚀剂层，所述第一抗蚀剂层覆盖与多个检查用探针、连结多个检查用探针的框架、以及形成在框架上并连接框架和各检查用探针的连接部对应的图案，以第一抗蚀剂层作为掩膜对板状部件进行蚀刻处理，除去该第一抗蚀剂层，并从连接部切断从而将多个检查用探针从框架分开。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 探针 | ||
【主权项】：
一种检查用探针的制造方法，其特征在于，通过将检查用探针从导电性的板状部件切下的切下工序来制造检查用探针，所述检查用探针与检查基板的布线图案上的检查点接触从而对该检查基板的布线图案的电气特性进行检查。
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