[发明专利]偏转装置无效
| 申请号： | 200910206598.9 | 申请日： | 2009-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN101692154A | 公开（公告）日： | 2010-04-07 |
| 发明（设计）人： | 中山田宪昭;和气清二 | 申请（专利权）人： | 纽富来科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种偏转装置，用于带电粒子束描绘装置，能够高准确度地校正因试样的带电效应导致的带电粒子束位置偏移。具备：偏转器，使向载物台上的试样照射的带电粒子束偏转；位置偏移量分布计算构件，根据被照射了带电粒子束的照射区域的带电量分布、以及不被照射带电粒子束的非照射区域的带电量分布，计算试样上的带电粒子束的位置偏移量的分布；以及偏转器控制构件，根据位置偏移量的分布，控制偏转器。 | ||
| 搜索关键词： | 偏转 装置 | ||
【主权项】：
一种偏转装置，其特征在于，具备：偏转器，使向载物台上的试样照射的带电粒子束偏转；位置偏移量分布计算构件，根据被照射了上述带电粒子束的照射区域的带电量分布、以及不被照射带电粒子束的非照射区域的带电量分布，计算上述试样上的带电粒子束的位置偏移量的分布；以及偏转器控制构件，根据上述位置偏移量的分布，控制上述偏转器。
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