[发明专利]实现拾取和翻转芯片的装置有效

专利信息
申请号: 200910217905.3 申请日: 2009-11-24
公开(公告)号: CN101710565A 公开(公告)日: 2010-05-19
发明(设计)人: 张德龙;吴玉彬;宋志;常丰吉;田学光 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;H01L21/683
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 王淑秋
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明涉及一种实现拾取和翻转芯片的装置,该装置利用翻转电机通过翻转电机连接套直接驱动吸头装置运动,从而实现芯片翻转,翻转杆内部的通孔与导向杆、吸杆、吸嘴的轴孔共同构成真空通道,外部气路通过气管接头和该真空通道作用于吸嘴端部,来进行芯片吸取。本发明由于采用翻转电机直接驱动吸头装置运动,具有结构简单、体积小、工作可靠、成本低等优点。
搜索关键词: 实现 拾取 翻转 芯片 装置
【主权项】:
一种实现拾取和翻转芯片的装置,其特征在于包括翻转电机固定板(21),翻转电机(20),翻转电机连接套(22),吸头装置(14);所述的翻转电机固定在翻转电机固定板(21)上;所述的吸头装置(14)包括翻转杆(13),吸头座(26),导向杆(27),芯片保护弹簧(28),吸杆(25),吸嘴(24);翻转电机(20)的转轴通过翻转电机连接套(22)与翻转杆(13)连接;吸头座(26)通过止口与翻转杆(13)定位和连接;导向杆(27)的上部位于吸头座(26)的空腔内,其下部由吸头座(26)下端的通孔伸出,并且导向杆与吸头座(26)接触部分有导向面;芯片保护弹簧(28)套装在导向杆(27)上,其上端与翻转杆(13)相接触,下端卡在导向杆(27)的台肩处;吸杆(25)的上部与导向杆(27)的下部固定连接,并且吸杆(25)的下端固定有吸嘴(24);翻转杆(13)内部的通孔(131)与导向杆(27)、吸杆(25)、吸嘴(24)的轴孔共同构成真空通道,并且翻转杆(13)内部的通孔(131)与翻转杆上安装的气管接头(23)相通。
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