[发明专利]实现拾取和翻转芯片的装置有效
申请号: | 200910217905.3 | 申请日: | 2009-11-24 |
公开(公告)号: | CN101710565A | 公开(公告)日: | 2010-05-19 |
发明(设计)人: | 张德龙;吴玉彬;宋志;常丰吉;田学光 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/683 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 王淑秋 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及一种实现拾取和翻转芯片的装置,该装置利用翻转电机通过翻转电机连接套直接驱动吸头装置运动,从而实现芯片翻转,翻转杆内部的通孔与导向杆、吸杆、吸嘴的轴孔共同构成真空通道,外部气路通过气管接头和该真空通道作用于吸嘴端部,来进行芯片吸取。本发明由于采用翻转电机直接驱动吸头装置运动,具有结构简单、体积小、工作可靠、成本低等优点。 | ||
搜索关键词: | 实现 拾取 翻转 芯片 装置 | ||
【主权项】:
一种实现拾取和翻转芯片的装置,其特征在于包括翻转电机固定板(21),翻转电机(20),翻转电机连接套(22),吸头装置(14);所述的翻转电机固定在翻转电机固定板(21)上;所述的吸头装置(14)包括翻转杆(13),吸头座(26),导向杆(27),芯片保护弹簧(28),吸杆(25),吸嘴(24);翻转电机(20)的转轴通过翻转电机连接套(22)与翻转杆(13)连接;吸头座(26)通过止口与翻转杆(13)定位和连接;导向杆(27)的上部位于吸头座(26)的空腔内,其下部由吸头座(26)下端的通孔伸出,并且导向杆与吸头座(26)接触部分有导向面;芯片保护弹簧(28)套装在导向杆(27)上,其上端与翻转杆(13)相接触,下端卡在导向杆(27)的台肩处;吸杆(25)的上部与导向杆(27)的下部固定连接,并且吸杆(25)的下端固定有吸嘴(24);翻转杆(13)内部的通孔(131)与导向杆(27)、吸杆(25)、吸嘴(24)的轴孔共同构成真空通道,并且翻转杆(13)内部的通孔(131)与翻转杆上安装的气管接头(23)相通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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