[发明专利]声界面波装置的制造方法

摘要

本发明提供一种频率偏差较小的声界面波装置的制造方法。该声界面波装置，按顺序叠层第1～第3媒质(1～3)、并且第1媒质(1)与第2媒质(2)间的界面上设有电极(5)。该制造方法中，准备叠层第1媒质(1)与第2媒质(2)，并在第1、第2媒质(1、2)的界面中设有电极(5)的叠层体，在该叠层体阶段，通过调整第2媒质(2)的膜厚来调整频率或声表面波、伪声界面波或声界面波的声速，实施该调整后，形成声界面波的声速及/或材料与第2媒质不同的第3媒质(3)。

主权项

一种声界面波装置的制造方法，该声界面波装置按顺序叠层有第1～第4媒质、且第1媒质与第2媒质间的界面上设有电极，该声界面波装置的制造方法，包括：准备按顺序叠层有第1～第3媒质、并在第1媒质与第2媒质的界面上设有电极的叠层体的工序；在上述叠层体阶段，调整第3媒质的膜厚，来调整频率、或声表面波、伪声界面波或声界面波的声速的调整工序；以及，上述调整工序后，形成声速及/或材料与第3媒质不同的第4媒质的工序。