[发明专利]电熔丝、电阻与晶体管的制造方法

摘要

一种电熔丝、电阻与晶体管的制造方法，首先，提供基底，然后，形成晶体管栅极、电阻和电熔丝于该基底上，且晶体管栅极、电阻、电熔丝均具有第一介电层、多晶硅层、硬掩模，之后，形成源极/漏极掺杂区于晶体管栅极旁的基底中，接着，去除电阻以及电熔丝中的硬掩模，然后，进行金属硅化工艺，形成金属硅化层于源极/漏极掺杂区、电阻上以及电熔丝上，再形成平坦化的第二介电层覆盖基底，并曝露出晶体管栅极的多晶硅层、电阻和电熔丝，之后，移除晶体管栅极中的多晶硅层，以形成凹槽，最后形成金属层填满凹槽。

主权项

一种电熔丝、电阻与晶体管的制造方法，包含：提供基底；形成晶体管栅极、电阻和电熔丝于该基底上，且该晶体管栅极、该电阻、该电熔丝均具有第一介电层、多晶硅层、硬掩模；形成源极/漏极掺杂区于该晶体管栅极旁的基底中；去除该电阻以及该电熔丝中的该硬掩模；进行金属硅化工艺，分别形成金属硅化层于该源极/漏极掺杂区、该电阻上以及该电熔丝上；形成平坦化的第二介电层覆盖该基底，并曝露出该晶体管栅极的该多晶硅层、该电阻和该电熔丝；移除该晶体管栅极中的该多晶硅层，以形成凹槽；以及形成金属层填满该凹槽。