[发明专利]应用用户界面控制半导体制造装置的系统与方法

摘要

本发明提供了一种使用用户界面控制半导体制造装置的系统与方法。该控制系统连接有至少一个控制器，该控制器通过网络连接到多个半导体制造装置上。控制器包括上位控制器如远程控制主机，和下位控制器如群集工具控制器。该控制器包括用户界面应用程序，以用于控制、监视和管理半导体制造装置。该用户界面应用程序在屏幕的一侧区域提供导航菜单，以历史顺序显示用户访问的菜单。采用与用户访问的菜单相对应的菜单条的方式提供导航菜单。该导航菜单用于在切换到另一菜单之前，自动存储用户修改的数据。用户访问的菜单可以通过用户界面进行快速选择，并且可以防止在用户访问的菜单中丢失修改数据。

主权项

一种控制半导体制造装置的系统，包括：多个菜单对话框，用于控制、监测及管理半导体制造装置；导航菜单，用于显示用户访问的菜单对话框；导航控制器，用于激活导航菜单，并记录与管理所述导航菜单；和显示驱动器，用于在屏幕中显示所述导航菜单。