[发明专利]一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构有效
| 申请号： | 200910237659.8 | 申请日： | 2009-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101702051A | 公开（公告）日： | 2010-05-05 |
| 发明（设计）人： | 赵立新;胡松;王建;邢薇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉;卢纪 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构，所述的镜片倾斜微调机构安装在镜片框中，它包括调节螺栓座、调节螺栓、传动弹簧、传动杠杆、镜片保护夹；调节螺栓被固定在位于镜片框上端的调节螺栓座上，调节螺栓的前端为锥型，传动弹簧的上端套在调节螺栓的前锥端，传动弹簧的下端挂在传动杠杆上，传动杠杆的后端被固定在镜片框上，传动杠杆的前端顶在位于镜片边缘的镜片保护夹的下方。本发明能够分别对投影光刻物镜中的各个镜片进行精确的倾斜调整，以达到镜片倾斜公差的要求，提高了各镜片的装调精度，克服了因镜片倾斜对像质产生的不良影响，保证了光刻质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 光刻 物镜 中的 镜片 倾斜 微调 机构 | ||
【主权项】：
一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构，其特征在于：所述的镜片倾斜微调机构安装在镜片框(7)上，它包括调节螺栓座(1)、调节螺栓(2)、传动弹簧(3)、传动杠杆(4)、镜片保护夹(5)；调节螺栓(2)被固定在位于镜片框(7)上端的调节螺栓座(1)上，调节螺栓(2)的前端为锥型，传动弹簧(3)的上端套在调节螺栓(2)的前锥端，传动弹簧(3)的下端挂在传动杠杆(4)上，传动杠杆(4)的后端被固定在镜片框(7)上，传动杠杆(4)的前端顶在位于镜片(6)边缘的镜片保护夹(5)的下方。
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