[发明专利]生产线设备载板数量的配置方法及装置有效
| 申请号： | 200910238730.4 | 申请日： | 2009-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN101876066A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 易璨 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C16/52 | 分类号： | C23C16/52;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100016 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种生产线设备载板数量的配置方法，包括：基于当前载板数量，统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin，并依据该比例确定最大配置的载板数量；所述最大配置的载板数量小于或等于当前工艺所限定载板数量的最大值；基于所述最大配置的载板数量，统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin，以及，当前处理模块等待载板传出的实际时间占预置时间的比例Pout，并依据比例Pin和Pout确定最佳配置的载板数量，所述最佳配置的载板数量小于或等于所述最大配置的载板数量。本发明以简单易行的方式依据生产线设备的实际情况动态配置载板数量，从而保证载板数量配置的合理性。 | ||
| 搜索关键词： | 生产线 设备 数量 配置 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种生产线设备载板数量的配置方法，其特征在于，包括：基于当前载板数量，统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin，并依据该比例确定最大配置的载板数量；所述最大配置的载板数量小于或等于当前工艺所限定载板数量的最大值；基于所述最大配置的载板数量，统计当前处理模块等待载板传入的实际时间占预置时间的比例Pin，以及，当前处理模块等待载板传出的实际时间占预置时间的比例Pout，并依据比例Pin和Pout确定最佳配置的载板数量，所述最佳配置的载板数量小于或等于所述最大配置的载板数量。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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