[发明专利]CIS电路测试探针卡

摘要

本发明是有关于一种CIS电路测试探针卡。本发明的CIS电路测试探针卡的一方面是通过将一光学组件设置于此CIS电路测试探针卡的基板邻近区域，用以在一光线投射至此CIS电路测试探针卡的基板之前，准直该光线，来有效地改善由光线投射至晶圆的均匀性不足(光线发散)。本发明的CIS电路测试探针卡的另一方面是通过改变CIS电路测试探针卡的孔洞以及探针的几何配置，使CIS电路测试探针卡具有小孔洞，并以一对一的方式对应于CIS晶片，使得每一小孔洞设置于一相对应的CIS晶片上方，从而使探针在CIS晶片的感光区域产生阴影的风险可以有效降低。

主权项

一种CIS电路测试探针卡，其特征在于其包含：一基板，该基板具有至少一孔洞以及至少一探针，每一该探针设置于相对应的该孔洞附近；以及一光学组件，该光学组件设置于该基板的邻近区域，该光学组件在一光线投射至该基板前，准直该光线。