[发明专利]电浆制程设备

摘要

本发明系揭露一种电浆制程设备，其包含一腔体、一承载装置、至少一支撑组件、至少一制程模块、至少一均温板、至少一反应室、至少一气体室及至少一电极板。均温板内嵌附有一加热器。其中腔体与一处理平面成一倾斜角度，使得反应室内之基板与均温板因重力而紧密贴合，遂均匀受热。此发明更具有将加热与受电功能结合于一制程设备上，达到降低成本之目的。

主权项

一种电浆制程设备，系用以处理基板，其特征在于：其包含：一腔体；一承载装置，系选择性置放于该腔体中；至少一制程模块，系依序置放于该承载装置中；至少一均温板，系设置于该制程模块中；至少一反应室，系设置于该制程模块中，该反应室并与该均温板接触，该反应室用以置放该基板；至少一气体室，系设置于该制程模块中，该气体室并与该反应室接触；以及至少一电极板，系设置于该制程模块中，该电极板并与该气体室接触。