[发明专利]超精密压电定位平台

摘要

本发明公开了一种超精密压电定位平台，其中通过一第一微动模块、一第二微动模块及一第三微动模块的配合，透过多个压电元件使该第一微动模块、该第二微动模块及该第三微动模块产生位移，使该超精密压电定位平台可进行多轴向、非等圆及非线性的微动调整机能，并达到高精密度定位的功效。并且，该第一微动模块、该第二微动模块及该第三微动模块以反层叠组合方式结合，更扁平化该超精密压电定位平台，故有效简化该超精密压电定位平台的体积与高度。再者，模块化的设计，使得该超精密压电定位平台的组装零件少、拆卸方便且易于维修。

主权项

一种超精密压电定位平台，其特征在于，所述的超精密压电定位平台包括：一第一微动模块，具有二第一微动单元，每一第一微动单元提供一第一轴向位移，每一第一微动单元具有一第一固定部、一第一活动部、二第一连杆及至少一第一压电元件，其中一第一微动单元的第一固定部及第一活动部分别与另一第一微动单元的第一固定部及第一活动部相对设置，所述第一连杆连接所述第一固定部及所述第一活动部，使所述第一固定部及所述第一活动部为平行，所述至少一第一压电元件设置于所述第一固定部与所述第一活动部之间；一第二微动模块，具有二第二微动单元，每一第二微动单元提供一第二轴向位移，所述第二轴向垂直所述第一轴向，每一第二微动单元具有一第二固定部、一第二活动部、二第二连杆及至少一第二压电元件，所述第二固定部分别垂直地连接所述第一活动部的相对二端以形成一载体设置区域，且所述第二活动部接近所述第一固定部，每一第二微动单元的所述第二连杆连接所述第二固定部及所述第二活动部，使所述第二固定部及所述第二活动部为平行，每一第二微动单元的所述至少一第二压电元件设置于所述第二固定部与所述第二活动部之间；一第三微动模块，具有二第三固定部、至少三万向挠性元件及设置于所述万向挠性元件中的至少三第三压电元件，所述第三固定部分别垂直地连接所述第二活动部的相对二端，所述万向挠性元件分别设置于所述第三固定部，且所述万向挠性元件面对所述载体设置区域，每一第三压电元件提供一第三轴向位移，所述第三轴向垂直所述第一轴向及所述第二轴向；及一载体，设置于所述载体设置区域且连接所述万向挠性元件。