[发明专利]溅镀装置无效
| 申请号： | 200910301107.9 | 申请日： | 2009-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN101845613A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 颜士杰 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅镀装置，包括第一筒状物和第二筒状物，该第二筒状物位于该第一筒状物内，该第二筒状物设有若干开孔，每个开孔用于放置待镀工件，该第二筒状物可相对该第一筒状物转动，该第一筒状物和该第二筒状物之间设有若干第一靶材，每个第一靶材具有一个第一溅镀面，每个第一溅镀面朝向至少一个开孔，至少一个第一溅镀面和该至少一个开孔所在平面相交。本发明提供的溅镀装置可对置于开孔内的待镀工件进行全方位镀膜，尤其可增厚待镀工件边缘部位的膜层厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种溅镀装置，其特征在于：包括第一筒状物和第二筒状物，该第二筒状物位于该第一筒状物内，该第二筒状物设有若干开孔，每个开孔用于放置待镀工件，该第二筒状物可相对该第一筒状物转动，该第一筒状物和该第二筒状物之间设有若干第一靶材，每个第一靶材具有一个第一溅镀面，每个第一溅镀面朝向至少一个开孔，至少一个第一溅镀面和该至少一个开孔所在平面相交。
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