[发明专利]工件真空溅镀方法及装置有效
| 申请号： | 200910305158.9 | 申请日： | 2009-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN101988186A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 陈杰良;魏朝沧;张庆州;简士哲;凌维成;王仲培;吴佳颖;黄建豪;洪新钦;廖名扬;蔡泰生;裴绍凯 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种工件真空溅镀方法，应用于具有二可相连通腔室的真空溅镀装置中，该真空溅镀装置包括第一腔室，第二腔室，设于该第一腔室内的第一吊架，设于该第二腔室内的第二吊架，该方法包括下列步骤：将第一工件置于第一腔室内的第一吊架上进行预热；将第一腔室内的第一吊架与第二腔室内的第二吊架进行交换；将第二腔室内已预热的第一工件进行溅镀；将第一腔室内的第二吊架与第二腔室内的第一吊架进行交换；将第一腔室内完成溅镀的第一工件取出。所述第一腔室用以预热工件，第二腔室用以进行溅镀，第一腔室于第二腔室进行溅镀时，可同时进行工件的取放及预热，从而提高了产率，且位于第二腔室内的靶材因而不易氧化。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 真空 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种工件真空溅镀方法，应用于具有二可相连通腔室的真空溅镀装置中，该真空溅镀装置包括第一腔室，第二腔室，设于该第一腔室内的第一吊架，设于该第二腔室内的第二吊架，该方法包括下列步骤：将第一工件置于第一腔室内的第一吊架上进行预热；将第一腔室内的第一吊架与第二腔室内的第二吊架进行交换；将第二腔室内已预热的第一工件进行溅镀；将第一腔室内的第二吊架与第二腔室内的第一吊架进行交换；将第一腔室内完成溅镀的第一工件取出。
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