[发明专利]用以制造具有可辨识标记的基板的方法

摘要

本发明揭露一种用以制造具有可辨识标记的基板的方法，包含：提供一基板；于所述基板上规划至少二基板区域；提供一光罩，所述光罩上四角落各包含预先形成的至少一光罩辨识标记，其中所述光罩的周边范围是大于所述基板的周边范围，且所述些光罩辨识标记包含至少二类型的光罩辨识标记；及利用所述光罩于所述至少二基板区域上分别执行曝光，以于所述至少二基板区域上形成对应至所述些光罩辨识标记的至少八基板辨识标记，并使所述至少八基板辨识标记中至少二基板辨识标记因重复曝光而消失，藉此，在所述至少二基板区域上分别形成有对应至所述至少二类型的光罩辨识标记的所述些基板辨识标记。

主权项

一种用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：包含：提供一基板；于该基板上规划至少二基板区域；提供一光罩，该光罩上四角落各包含预先形成的至少一光罩辨识标记，其中该光罩的周边范围是大于该基板的周边范围，且该些光罩辨识标记包含至少二类型的光罩辨识标记；及利用该光罩于该至少二基板区域上分别执行曝光，以于该至少二基板区域上形成对应至该些光罩辨识标记的至少八基板辨识标记，并使该至少八基板辨识标记中至少二基板辨识标记因重复曝光而消失，藉此，在该至少二基板区域上分别形成有对应至该至少二类型的光罩辨识标记的该些基板辨识标记。