[发明专利]变色薄膜的制备方法无效
申请号: | 200910311706.9 | 申请日: | 2009-12-17 |
公开(公告)号: | CN102102170A | 公开(公告)日: | 2011-06-22 |
发明(设计)人: | 裴绍凯 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/58 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种变色薄膜的制备方法,其包括如下步骤:提供一个基板;将所述基板放入真空镀膜腔内,在所述基板的表面镀上一层氮化膜;将镀膜后的基板从真空镀膜腔中取出,放入高温炉进行热裂解;将热裂解后的基板从高温炉中取出,进行冷却。本发明通过在所述基板上镀一层氮化膜之后,再添加一道高温热裂解的步骤,就可使所镀的氮化膜在不同的观察角度呈现不同的颜色,制备过程简单。 | ||
搜索关键词: | 变色 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种变色薄膜的制备方法,其包括如下步骤:提供一个基板;将所述基板放入真空镀膜腔内,在所述基板的表面镀上一层氮化膜;将镀膜后的基板从真空镀膜腔中取出,放入高温炉进行热裂解;将热裂解后的基板从高温炉中取出,进行冷却。
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