[实用新型]半导体废气处理槽的刮刀装置有效
| 申请号： | 200920006853.0 | 申请日： | 2009-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN201380177Y | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 冯五良 | 申请（专利权）人： | 东服企业股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/049 | 分类号： | B08B9/049 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种半导体废气处理槽的刮刀装置，设于该废气处理槽的一入气管内，且该入气管具一废气入口及一连通该废气处理槽的废气出口，该入气管呈弯曲状，而使入气管内部形成相连通的一前管道及一后管道，前管道连通废气入口，后管道连通废气出口，且后管道内对应于废气出口的位置具一驱动器，驱动一滑设于后管道内的刮刀往复位移，据此，该刮刀装置能清除后管道的管壁上的结垢物。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 废气 处理 刮刀 装置 | ||
【主权项】：
1.一种半导体废气处理槽的刮刀装置，设于该废气处理槽的一入气管内，且该入气管具一废气入口及一连通该废气处理槽的废气出口，该入气管内部形成相连通的一前管道及一后管道，前管道连通废气入口，后管道连通废气出口，其特征在于： 后管道内具一受驱动往复位移的刮刀，据以清除后管道内的附着物。
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