[实用新型]掩模板夹持机构有效
| 申请号： | 200920067014.X | 申请日： | 2009-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN201402365Y | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 马佳;马喜宝 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种掩模板夹持机构，包括机械手及推杆，其中机械手具有夹持所述掩模板的夹持区域，而在该夹持区域前方两侧具有两对称的凸台，所述夹持区域后方中部设置能够前后移动的推杆，通过所述凸台和所述推杆形成三角形的施力点，使得夹持十分稳固，该掩模板夹持机构不需要真空传感器及吸附装置，且结构紧凑，所以不仅结构小巧，而且降低了成本，安装方便；另外，在所述推杆侧面设置接近传感器，来检测推杆推进的状况，从而反应所述掩模板夹持机构的夹持状态，避免由于无法及时识别机械手中掩模板的状态而出现误判或其他弊端。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 夹持 机构 | ||
【主权项】：
1、一种掩模板夹持机构，其特征在于：包括机械手及推杆，其中所述机械手具有夹持所述掩模板的夹持区域，以及在该夹持区域前方两侧对称设置的凸台；而所述推杆设置在所述夹持区域后方中部，能够前后移动并配合所述凸台将掩模板固定在所述夹持区域内。
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