[实用新型]硅片机械手有效
| 申请号： | 200920068553.5 | 申请日： | 2009-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN201380488Y | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 郑椰琴;齐芊枫 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J19/00;B25J15/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型属光刻设备领域，尤其涉及一种用于取放硅片的硅片机械手。公开了一种硅片机械手，包括驱动机构、传动机构和机械手爪，所述驱动机构经传动机构带动机械手爪取放硅片，所述传动机构与机械手爪通过簧片连接，且所述簧片的刚度比所述硅片小。本实用新型的硅片机械手的垂向解耦能在抓取或者吸附硅片时对硅片具有一定的缓冲作用，可防止所抓取的硅片的变形和窜动。同时，可以缓冲对驱动电机如音圈电机所造成的冲击，以延长驱动电机使用寿命。本实用新型的硅片机械手的这种由簧片构成的自我调节结构在一定程度上降低了结构上零部件的加工要求和装配精度要求，降低生产成本，提高生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 机械手 | ||
【主权项】：
1.一种硅片机械手，包括驱动机构、传动机构和机械手爪，所述驱动机构经传动机构带动机械手爪取放硅片，其特征在于：所述传动机构与机械手爪通过簧片连接，且所述簧片的刚度比所述硅片小。
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