[实用新型]晶圆清洗吹干装置

摘要

一种晶圆清洗吹干装置，由槽体、旋转清洗喷嘴和多角度风口吹干管构成，槽体的上端开口处设置有密封盖，槽体的上端开口内、密封盖的下侧设置有悬臂，旋转清洗喷嘴设置在槽体内悬臂的下方，多角度风口吹干管设置在槽体内悬臂与旋转清洗喷嘴之间，旋转清洗喷嘴连接到一个去离子水管接头上，去离子水管接头穿设在槽体上，多角度风口吹干管连接到一个气管接头上，气管接头穿设在槽体上。晶圆夹具放到悬臂上，盖上密封盖，通入去离子水，旋转清洗喷嘴工作，之后通入气体吹干晶圆。本实用新型在槽体的一次密封过程中，先后对晶圆进行喷淋和吹干，操作方便，效率高，能避免晶圆被再次污染。

主权项

一种晶圆清洗吹干装置，由一个槽体、至少一个旋转清洗喷嘴和至少一个多角度风口吹干管构成，其特征在于：槽体的上端开口处设置有一个密封盖，槽体的上端开口内、密封盖的下侧设置有悬臂，任意一个所述的旋转清洗喷嘴均设置在槽体内、所述的悬臂的下方，任意一个所述的多角度风口吹干管均设置在槽体内、悬臂与旋转清洗喷嘴之间，任意一个旋转清洗喷嘴均连接到一个去离子水管接头上，所述的去离子水管接头穿设在槽体上，任意一个多角度风口吹干管均连接到一个气管接头上，所述的气管接头穿设在槽体上。