[实用新型]基板搬运机器人设备有效
申请号: | 200920106869.9 | 申请日: | 2009-03-27 |
公开(公告)号: | CN201366712Y | 公开(公告)日: | 2009-12-23 |
发明(设计)人: | 文斌 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | B25J18/00 | 分类号: | B25J18/00;B25J15/00;B25J13/00;B25J19/02 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘 芳 |
地址: | 100176北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种基板搬运机器人设备,包括滑设在第一滑轨上的第一手臂和第二手臂,所述第一手臂和第二手臂的第二滑轨上分别滑设有支撑柱,所述第一手臂和第二手臂之间设置有用于调整第一手臂和第二手臂之间距离的第一调整装置,同时,所述第一手臂和第二手臂上还分别设置有用于调整所述支撑柱位置的第二调整装置。本实用新型技术方案通过设置调整装置,使得基板搬运机器人设备可以实现自动化调整,有效提高了调整的精度和速率,提高了基板搬运机器人设备的运转效率。 | ||
搜索关键词: | 搬运 机器人 设备 | ||
【主权项】:
1、一种基板搬运机器人设备,其特征在于,包括滑设在第一滑轨上的第一手臂和第二手臂,所述第一手臂和第二手臂的第二滑轨上分别滑设有支撑柱,所述第一手臂和第二手臂之间设置有用于调整第一手臂和第二手臂之间距离的第一调整装置。
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