[实用新型]制造薄膜光伏电池的生产线

摘要

本实用新型属于一种制造薄膜光伏电池的生产线，采用在该生产线包括一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置，一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置之间设有传送设备，所述的一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置中包括镀膜腔，镀膜腔内设有喷涂作业时移动的电子枪和使电子枪移动的摆动装置。本实用新型一次可以完成在基板上的镀膜作业，使各工序彼此连接，有镀膜均匀，加工速度快，质量好，成本低，产量大，可大幅度提高基板光电转换率，大幅延长其使用寿命的优点。

主权项

1、一种制造薄膜光伏电池的生产线，主要由镀膜腔、传送设备和激光刻线机所组成，其特征在于：在该生产线包括一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置，一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置之间设有传送设备，所述的一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置中包括镀膜腔，镀膜腔内设有喷涂作业时移动的电子枪和使电子枪移动的摆动装置。