[实用新型]补偿挡板机构有效
| 申请号： | 200920110172.9 | 申请日： | 2009-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN201459229U | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 赵益萍;侯荣华;王燕 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 胡小永 |
| 地址： | 102600 北京市大兴工*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种补偿挡板机构。该补偿挡板机构包括补偿挡板、连接架、定位体及固定体，补偿挡板的一端固定于连接架的一端、连接架的另一端与定位体连接，定位体与固定体连接。定位体可以包括T型调整座和L型调整座。本实用新型通过设置连接架、定位体以及固定体，使得补偿挡板能够在三维空间中自由调整位置；在不需要进行补偿时，可以将定位体及补偿挡板整体拆卸下来，拆卸方便；且补偿挡板可全部或部分设置于连接架上，加大了连接架对补偿挡板的支撑面积，使得补偿挡板在受热时不易变形，提高了补偿挡板的重复使用性，从而提高了补偿效果及镀膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 补偿 挡板 机构 | ||
【主权项】：
一种补偿挡板机构，其包括补偿挡板、连接架、定位体及固定体，所述补偿挡板的一端固定于所述连接架的一端、所述连接架的另一端与所述定位体连接，所述定位体与所述固定体连接。
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