[实用新型]一种具有双弯晶固定元素道分光器的X荧光光谱分析仪

摘要

本实用新型公开了一种具有双弯晶固定元素道分光器的X荧光光谱分析仪，包括X光管及X射线发生装置、多个固定元素道分光器、真空测量室和抽真空系统、自动控制系统、X射线探测器、元素特征X射线谱峰检测装置以及上位PC计算机，其中固定元素道分光器内部有两条弯晶衍射光路，因此分光器尺寸不变而每个分光器可以同时测定两种元素，使得在不加大真空测量室直径和增加分光器数量的情况下，本实用新型仪器可同时测定的元素种类成倍增加，扩大仪器的应用范围；而在所需测定的元素种类一定的情况下，可以成倍减少分光器的数量和减小真空测量室的直径，从而使仪器结构大为简化，大幅度降低制造成本。

主权项

一种具有双弯晶固定元素道分光器的X荧光光谱分析仪，它包括X光管及X射线发生装置、若干个固定元素道分光器、真空测量室和抽真空系统、自动控制系统、X射线探测器、元素特征X射线谱峰检测装置以及上位PC计算机，其特征在于：所述固定元素道分光器包括有入射狭缝管组件、与入射管组件尾部连接的分光盒组件、与分光盒组件连接的出射狭缝管组件；所述入射狭缝管组件包括有入射通道的管体、安装在该入射通道头部的狭缝宽度调节机构以及安装在该入射通道尾部的光栏板；所述出射狭缝管组件包括有出射通道的管体以及安装在该出射通道头部的狭缝板，该出射狭缝管组件的尾部与所述分光盒组件的盒体连接；所述分光盒组件包括有盒体以及安装在该盒体内部的弯晶组件，该弯晶组件包括有弯晶、晶体托架和入射角调节机构；所述入射通道的光轴通过弯晶的中心，其入射角等于被测元素的衍射角，所述出射通道的光轴通过弯晶的中心，其出射角等于入射角；所述入射狭缝管组件的管体内的入射通道数量为两条，且其结构相同，各入射通道头部均设置一狭缝宽度调节机构，尾部均设置一光栏板；所述入射管组件的管体的尾部与盒体连接；所述出射狭缝管组件的数量为两个，且其结构相同，每个出射狭缝管组件的尾部分别与分光盒组件的盒体连接；所述分光盒组件的盒体内安装有两套弯晶组件，每套弯晶组件与一个入射通道和一个出射狭缝管组件构成一条衍射光路，该光路中，入射角和出射角相等。