[实用新型]半导体器件测试分选打标编带一体机无效
申请号: | 200920134604.X | 申请日: | 2009-08-05 |
公开(公告)号: | CN201438454U | 公开(公告)日: | 2010-04-14 |
发明(设计)人: | 龙超祥;刘琪珉;高俊杰 | 申请(专利权)人: | 深圳市远望工业自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;G01R31/26;G01P13/02;G01B11/00;B07C5/344;B65B15/04;B65B9/02;H01L33/00 |
代理公司: | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人: | 孙大勇 |
地址: | 518103 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体器件测试分选打标编带一体机,其方案为:将半导体器件通过一体机输送至设在各工位上的器件处理系统进行处理,所述一体机包括机器本体与各个器件处理系统,所述机器本体上设有各16工作位的主转塔系统和激光打标转塔系统,在所述主转塔系统的每个工作位上设有器件取放与输送的吸嘴机构,主转塔系统上还设有吸嘴下压机构,所述激光打标转塔系统的每个工作位上设有器件输送机构;所述吸嘴机构与器件输送机构将半导体器件依次输送至各器件处理系统完成一站式连续加工。通过实施本实用新型,将原本需要多种设备完成的测试、分选、打标、编带输出等多种功能在一台设备上完成,节约了成本,提高了工作效率。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 测试 分选 打标编带 一体机 | ||
【主权项】:
一种半导体器件测试分选打标编带一体机,包括机器本体(1)和与所述机器本体(1)相固联的各个用于对半导体器件进行不同加工、处理的器件处理系统,其特征是:在所述的机器本体(1)上设有一16工作位的主转塔系统(2)和与所述主转塔系统(2)相配合的一16工作位的激光打标转塔系统(3),所述的主转塔系统(2)和所述的激光打标转塔系统(3)的工位上设有所述器件处理系统,在所述的主转塔系统(2)的每个工作位上设有器件取放与输送的吸嘴机构(21),在所述的主转塔系统(2)上还设有与所述吸嘴机构(21)相对应的吸嘴下压机构(22),在所述的激光打标转塔系统(3)的每个工作位上设有器件输送机构(23)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造