[实用新型]一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置无效
申请号: | 200920166837.8 | 申请日: | 2009-07-20 |
公开(公告)号: | CN201483318U | 公开(公告)日: | 2010-05-26 |
发明(设计)人: | 林宜龙;田亮;张松岭;林建昌;周冠彬;唐召来 | 申请(专利权)人: | 格兰达技术(深圳)有限公司 |
主分类号: | B24B9/02 | 分类号: | B24B9/02;B24B49/12;B24B55/02;G03F1/00 |
代理公司: | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人: | 孙丽芳 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区龙华大浪*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置,属于对掩膜版进行自动倒边的装置,包括倒边磨头,所述倒边磨头在倒边磨头旋转电机的带动下旋转;所述倒边磨头在其中部设置一环形的开口槽,开口槽的上下两个面之间的垂直距离从内到外依次增大,所述开口槽关于一基准水平面对称;以及,电控系统,控制所述倒边磨头旋转电机的动作。本实用新型所述倒边装置可以在一倒边装置的移动装置的带动下自动对掩膜版进行倒边加工,不仅提供了加工效率,也减小了人为因素对加工质量的影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 掩膜版倒边 磨边 装置 | ||
【主权项】:
一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置,其特征在于:包括倒边磨头,所述倒边磨头在倒边磨头旋转电机的带动下旋转;所述倒边磨头在其中部设置一环形的开口槽,开口槽的上下两个面之间的垂直距离从内到外依次增大,所述开口槽关于一基准水平面对称;以及,电控系统,控制所述倒边磨头旋转电机的动作。
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