[实用新型]一种振动校准用激光干涉仪无效
| 申请号： | 200920167845.4 | 申请日： | 2009-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN201540156U | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 左爱斌;于梅;刘爱东;杨丽峰;马明德 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100013*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种振动校准用激光干涉仪，包括激光器和普通分光棱镜，普通分光棱镜位于激光器的输出光路上，普通分光棱镜的分光面与普通分光棱镜的输出光路夹角为45°，激光器输出光分为呈90°夹角的参考光与测量光，参考光方向上设有参考反射镜，测量光方向上设有测量反射镜，测量反射镜与振动物体固定并随振动物体移动，参考光和测量光经普通分光棱镜汇集形成总干涉光，总干涉光方向设有将总干涉光分成偏振方向正交的两个支路干涉光的偏振分光装置，两个支路干涉光光路上分别设有光电接收器。本实用新型的激光干涉仪能够扩展振动传感器灵敏度的测量范围、满足振动传感器灵敏度相移测量的光学要求、准确测量振动传感器灵敏度相移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 振动 校准 激光 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种振动校准用激光干涉仪，包括激光器和普通分光棱镜，所述普通分光棱镜位于所述激光器的输出光路上，所述普通分光棱镜的分光面与所述普通分光棱镜的输出光路夹角为45°，所述激光器输出光经普通分光棱镜分为呈90°夹角的参考光与测量光，所述参考光方向上设有将参考光原路反射回的参考反射镜，所述测量光方向上设有将测量光原路反射回的测量反射镜，所述测量反射镜与振动物体固定并随所述振动物体移动，所述反射回的参考光和测量光经普通分光棱镜汇集形成总干涉光，其特征在于：所述总干涉光方向设有将总干涉光分成偏振方向正交的两个支路干涉光的偏振分光装置，所述两个支路干涉光光路上分别设有光电接收器。
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