[实用新型]载台装置

摘要

一种载台装置，其包括一载座，于该载座顶部作用面处设置一锥形的容置槽，并于其中设置一锥形的喷头，该喷头周围与容置槽面间形成气流通道，并于容置槽中心位置设置一连通外界的喷气道，且于载座作用面周缘设置数个水滴形柱杆状的抵压块，借此设计，当外界喷气装置所喷出的气体由喷气道喷入载座时，气流可经由气流通道由喷头周围倾斜向外喷出，使置放在载座上方的光电半导体薄片形工件能与载座的作用面间形成负压状态，而与周围形成压差，使工件周缘能抵于抵压块顶面而吸附定位。

主权项

一种载台装置，其特征在于：包括：一载座，该载座包含一作用面位于顶部，该载座于作用面处形成一锥形状的容置槽，该容置槽包含位于作用面处形成扩大开口，以及相对于该扩大开口端形成缩小部，于该缩小部处设置一喷气道与外界连通；数个支持块，其分布设置于上述容置槽面；一喷头，其包含一平面及位于该平面周围的锥面，该喷头设置于上述容置槽中，是以锥面定位于上述数个支持块顶端，使平面位于上述载座作用面下侧而形成一高度差，而在该锥面与容置槽面之间形成气流通道；数个抵压块，该数个抵压块一端设置于上述载座的作用面周缘。