[实用新型]用于扩散炉的防爆源瓶无效
| 申请号： | 200920204161.7 | 申请日： | 2009-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN201487540U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 伍波;张勇;李果山 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F17C1/16 | 分类号： | F17C1/16;F17C1/08 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 518103 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于扩散炉的防爆源瓶，这种技术和装置主要应用于扩散炉中；它包括瓶体及设置在瓶体上的管体，所述瓶体为PTFE或PFA材质，在瓶体上设有向外凸起的加强筋。本实用新型通过改换源瓶的材料，将脆性的石英材料换成柔性的PTFE或PFA材料，耐腐蚀、耐高(低)温、耐老化，具有一定的机械强度，做成密封瓶后，无应力、无隐裂、不怕碰撞；同时在瓶身设置了增加强度的加强筋，就能够很大程度上消除破裂隐患，在装载、使用源瓶时大大减少爆瓶的危险。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 扩散 防爆 | ||
【主权项】：
一种用于扩散炉的防爆源瓶，包括瓶体(1)及设置在瓶体上的管体(3)，其特征在于：所述瓶体(1)为PTFE或PFA材质，在瓶体(1)上设有向外凸起的加强筋(2)。
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