[实用新型]扩散炉的自动炉门盖有效
| 申请号： | 200920205303.1 | 申请日： | 2009-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN201532119U | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | 伍波;张勇;李果山 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18;F15B15/00 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 518103 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散炉的自动炉门盖，应用于半导体掺杂工艺的扩散炉；它包括一圆管状炉膛，在炉膛的炉口端连接有一炉门柜，炉门柜内通过移动装置连接有一个与炉口匹配的圆形炉门盖；所述移动装置由炉门盖平面偏转驱动机构和炉门盖轴向运动驱动机构组成。通过配备自动炉门盖实现在扩散炉中应用闭管、软着陆的技术，提升温控精度、保证气场分布，并减少能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 自动 炉门 | ||
【主权项】：
一种扩散炉的自动炉门盖，包括一圆管状炉膛(13)，其特征在于：所述炉膛(13)的炉口端连接有一炉门柜(12)，炉门柜(12)内通过移动装置连接有一个与炉口匹配的圆形炉门盖(1)；所述移动装置由炉门盖平面偏转驱动机构和炉门盖轴向运动驱动机构组成。
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