[实用新型]一种显示电路板有效

专利信息
申请号: 200920209247.9 申请日: 2009-09-04
公开(公告)号: CN201490166U 公开(公告)日: 2010-05-26
发明(设计)人: 吴新江;吴军海;王磊 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 20120*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供一种显示电路板,用于和晶盒装载台配合使用,包括:第一直流公共端和第一插槽,所述第一公共端和所述第一插槽之间连接有:第一电阻和第一灯串联的第一支路,第二电阻和第二灯串联的第二支路,第三电阻和第二灯串联的第三支路;第二直流公共端和第二插槽,所述第二直流公共端和所述第二插槽之间连接有锁存电路,所述第二插槽连接锁存端;在所述第二直流公共端或第二直流公共端、和所述第二插槽之间还连接有第四电阻和第四灯。解决了晶盒长时间暴露于空气中容易被污染且容易产生误操作的问题,有效提高了晶圆产品的良率。
搜索关键词: 一种 显示 电路板
【主权项】:
一种显示电路板,用于和晶盒装载台配合使用,包括:第一直流公共端和第一插槽,所述第一公共端和所述第一插槽之间连接有:第一电阻和第一灯串联的第一支路,第二电阻和第二灯串联的第二支路,第三电阻和第二灯串联的第三支路;第二直流公共端和第二插槽,所述第二直流公共端和所述第二插槽之间连接有锁存电路,所述第二插槽连接锁存端;其特征在于,在所述第二直流公共端和所述第二插槽之间还连接有第四电阻和第四灯。
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