[实用新型]硅片承载台有效

专利信息
申请号: 200920213284.7 申请日: 2009-12-17
公开(公告)号: CN201611651U 公开(公告)日: 2010-10-20
发明(设计)人: 卢夕生 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 20120*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种硅片承载台,包括:承载底座、固定连接在承载底座上的承载基板;与承载底座转动连接的齿轮环、设置在齿轮环侧部用于卡紧硅片的齿轮销;承载底座上开设有环形槽,驱动部件上的活动卡销能够穿过所述的环形槽并与所述齿轮环上的横轴接触,所述齿轮环与承载底座之间还设置有弹簧;还包括固定在驱动部件上能够发射并接受激光的激光感应器,以及固定在所述横轴上的金属反射片。本实用新型由于采用了激光感应器和金属反射片的组合使用,使得硅片清洗装置在出现异常运行时,能够及时发现硅片放置异常和破裂,避免了现有技术中继续运行而无法发现运行异常的问题。
搜索关键词: 硅片 承载
【主权项】:
一种硅片承载台,包括:承载底座、固定连接在承载底座上的承载基板;与承载底座转动连接的齿轮环、设置在齿轮环侧部用于卡紧硅片的多个齿轮销,所述齿轮环上固定有横轴;承载底座上开设有环形槽,驱动部件上的活动卡销能够穿过所述的环形槽并与所述齿轮环上的横轴接触,所述齿轮环与承载底座之间还设置有弹簧;其特征在于:还包括固定在驱动部件上能够发射并接受激光的激光感应器,以及固定在所述横轴上的金属反射片。
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