[实用新型]一种单晶炉无效
| 申请号： | 200920230984.7 | 申请日： | 2009-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN201512602U | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 张升平;尤志锋 | 申请（专利权）人： | 常州市祺科机械制造有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 顾进 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种单晶炉，包括上旋转系统、下传动系统，所述上旋转系统与下传动系统之间通过大法兰连接，大法兰上有与气体设备相通的孔，所述上旋转系统包括分流罩，所述分流罩通过小法兰与大法兰端面连接，所述分流罩位于下传动系统的炉室内，所述分流罩呈筒状结构，且在其下端面边缘为斜面，在斜面上有通孔，该通孔与炉室及大法兰上的孔相通。本实用新型具有气体分流罩，该装置结构简单，成本低，使得通入炉室的氩气分布均匀，有利于混合气体的排出，保证了炉内的真空度，提高了硅单晶体的质量，有效延长单晶炉的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】：
一种单晶炉，包括上旋转系统、下传动系统，所述上旋转系统与下传动系统之间通过大法兰连接，大法兰上有与气体设备相通的孔，其特征在于：所述上旋转系统包括分流罩，所述分流罩通过小法兰与大法兰端面连接，所述分流罩位于下传动系统的炉室内，所述分流罩呈筒状结构，且在其下端面边缘为斜面，在斜面上有通孔，该通孔与炉室及大法兰上的孔相通。
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